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详细信息
可选择清洗面积:6英寸-150*150mm,8英寸-200*200mm,12英寸-300*300mm,16英寸-400*400mm
产品配置
电源:220V;
灯管:特殊格册状灯管(进口石英材料),250W,寿命5000小时;
主要工作光谱:185nm+254nm
有效清洗面积:6、8、10、12、16英寸(可选择其中一种)
清洗时间控制器:0-99.99小时或分钟;
寿命计时器:计算灯管使用寿命;
照射高度: 20-100mm,可通过托盘四边螺母调节高度;
UV ON/OFF指示,异常指示/警报;
灯管预热:具灯管预热提示功能,15分钟;
排风功能:自带抽风系统,可调节风速,8cm直径出风口,配置风管及铝胶带;
应用领域
■在进行薄膜沉积之前先进行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。
■清洗硅芯片,透镜,反光镜,太阳能面板,冷轧钢,惯性引导零件和 GaAs芯片
■清洁焊剂,混合电路以及平板LCD显示器
■蚀刻特氟隆,氟橡胶以及其它有机材料
■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面
■增强玻璃的除气作用
■基片蓝膜去除
■增强塑料表面的镀膜的粘附性
■基片终测后墨迹清楚
■去除光刻胶
■平板显示器/液晶显示器
■去除光刻机台上的光刻胶残留物
■在电路板封装和打片之前清洗)
■光纤
■增强表面亲水特性
■为生物科学应用做清洗和消毒
■光学透镜
■其它应用
参考客户:京东方,福晶科技,苏州科纳,清华大学,北京大学,中科院长春应用化研究所,中科院长春光机所,中南大学,华南师范大学,哈尔滨工业大学深圳研究生院,东北大学,郑州大学等;
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